XYテーブルの熱変位をミクロンレベルで補正

お客様の課題

半導体の検査工程に、検査テーブル（XYテーブル）を使用されていましたが、経時に伴うテーブルの自己発熱により、XY軸がミクロンレベルでズレてしまい、精度の高い検査ができずにお困りでした。

「フォトマイクロ」によるXY軸の原点出しも検討されましたが、繰返しの再現性が10μmと低いため、ミクロンレベルの補正ができません。

［熱変位］［補正］というキーワードで検索されて、当社の製品を見つけられ、お問い合わせを頂きました。

メトロールのご提案

従来、「フォトマイクロ」や「光電センサ」などの光センサーは、モノが有るか無いかの存在検知に適しており、精度の高い原点出しには不向きです。

また、検査テーブルと同じく、センサー自体にもアンプ部の自己発熱による温度ドリフトがあり、カタログ仕様上の精度を発揮することができません。

メトロールの「精密位置決めスイッチ」は、アンプを使用しない精密機械式のため、温度ドリフトが無く、300万回の使用でも、0.5μmの繰返し精度を安定して発揮。

テーブルのX軸・Y軸の端面に直接スイッチを当て、ON/OFF信号の切り替り点を原点とする事で、テーブルの熱変位を、ミクロンレベルで補正することができます。

担当者のコメント

サーボモーターだけではなく、安価なパルスモーターを使用したXYテーブルでも、駆動時の原点出しに「精密位置決めスイッチ」を使用する事で、精度の高いステージ駆動が実現します。

大手半導体製造装置メーカー様での大幅コストダウンの実績もございます。
ぜひお気軽にご相談ください。

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