高真空環境下での、光センサの誤検知を解決

お客様の課題

真空チャンバー内の、ガラス基板の有無検出に、「光電センサ」を使用されていましたが、蒸着時のビューポートの曇りにより、誤検知が多くお困りでした。
また、ビューポート自体の加工費用も高く、そのコストも問題となっていました。

大手センサメーカーに相談し、高性能の光センサーも試用試験してきましたが、誤検知を防ぐことができません。

真空技術をテーマにした専門展示会「真空展」にご来場頂いた事をきっかけに、当社のスイッチを知り、お問い合わせいただきました。

メトロールのご提案

従来「光電センサ」は、照射した光の反射でワークを検知するため、曇りや水滴・乱反射などの外部環境の影響を受けやすく、誤検知が絶えません。

ほとんどのエンジニアの方は「真空環境下ではセンサは使えない…」とお考えです。

メトロールの「高真空度クラス対応形スイッチ」は、電子基板を使わず、低アウトガス対応部品だけで製造した、機械式の精密位置決めスイッチです。
10^-5Paまでの高真空度クラスに対応し、高真空環境下でも、確実にガラス基板を検知することができます。

スイッチの接触力を0.5N以下、先端を特殊樹脂にカスタマイズできるので、繊細なガラス基板を傷をつける心配もありません。

担当者のコメント

「光電センサ」や「ファイバーセンサ」などの光センサーは、信号点が目に見えないため、取付け調整に２日以上も掛かってしまった事例もあります。
メトロールの「精密位置決めスイッチ」は、接触式で信号点が目に見える為、設計時のCAD上で取付け位置を指定する事も可能です。

半導体業界では、「スパッタリング装置」「有機EL蒸着装置」「エッチャー」「ウェハー搬送装置」などの真空装置内での位置決めにも多数採用実績があります。

真空環境下での位置決め・有無検出でお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。

評価用サンプルをご用意してお待ちしております。

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