電池フィルムのミクロンレベルの厚みを、非接触で安定計測

お客様の課題

厚さ50μmの電池フィルムの厚みを測定する際、「マイクロゲージ」を使い、手作業で計測されていましたが、作業者によって測定圧力が違い、測定結果にバラツキが出てしまいお困りでした。

光学式の変位センサーを使い、フィルム厚さを測定する方法も試されましたが、フィルム表面が光沢質のため、安定した測定結果が得られません。

また、手作業による計測のため、一枚の測定に10分以上掛かってしまい、生産性の低下も問題になっていました。

メトロールのご提案

従来、「マイクロゲージ」による測定は、作業者の測定圧による個人差が大きく、精度の求められるミクロンレベルの電池フィルム厚の測定には不向きです。

メトロールの「エアマイクロセンサ」は、独自開発の空圧回路を搭載した、非接触式のエアセンサ。
高精度ON/OFF位置信号をサーボモータで読み取ることで、50μmのフィルムの厚さを、±0.5μｍの繰返し精度で安定して測定する事が可能になります。

また、測定の自動化により、作業者の手作業による計測に比べ、測定時間を90％大幅短縮する事ができます。

担当者のコメント

半導体業界では、今回ご紹介した事例以外にも、「ウェハーの厚さ計測」や「インゴットの外径計測」など、光センサーやレーザーセンサーでは安定して計測する事ができなかった、ミクロンレベルの測定に採用実績があります。

地域によっては、当社営業が直接お伺いし、実機によるデモ実演をする事も可能です。
ぜひお気軽お問い合わせください。

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